鈦強(qiáng)制循環(huán)泵零件的電源和性能

。因此，循環(huán)泵的電源可以反映壓力。

泵電源面板顯示:輸出DC高壓、鈦強(qiáng)制循環(huán)泵放電電流等。

(1)極限壓力:10-8 Pa

(2)泵送速度:

  鈦強(qiáng)制循環(huán)泵的抽速與陽(yáng)極電壓和磁場(chǎng)強(qiáng)度有關(guān)

。磁場(chǎng)強(qiáng)時(shí)，抽氣速度也高，較好的抽氣速度對(duì)應(yīng)的陽(yáng)極電壓也高。常用鈦強(qiáng)制循環(huán)泵的抽速有25升/秒和5升/秒。對(duì)于需要大抽速的場(chǎng)合，抽速可達(dá)50 L/s、100 L/s等。通過(guò)并聯(lián)連接基本結(jié)構(gòu)單元。

(3)啟動(dòng)壓力:10-2 Pa

(4)壽命

a

、陰極耗盡壽命

  陰極鈦板因?yàn)R射穿透而不能使用

。

b、陽(yáng)極剝離壽命

  當(dāng)沉積在陽(yáng)極上的鈦膜厚度過(guò)大時(shí)