鈦強制循環(huán)泵的脫氣機理是什么

？

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電離的惰性氣體離子轟擊陰極時，有以下三種情況：

  a

、離子直接撞擊陰極或撞擊與陰極邊緣相對的陽極板上的鈦沉積層；

  b、斜離子切入陰極表面

，離子和鈦一起被提離，沉積在陰極板周圍或其他地方；

  c

、離子不會闖入極板，而是從陰極得到電子，重新組合成中性原子，然后反射到陽極內(nèi)表面的鈦膜中。