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     ?鈦泵的抽氣機理
    
 
     人氣：673 發(fā)表時間：2023-05-17 【小中大】 
    
 
    
 
    鈦泵分熱鈦泵與冷鈦泵，一般用濺射離子源
    ，是冷鈦泵
    ，是一種新型表面吸附型泵
    。它利用化學性質活潑的鈦金屬具有很強的吸氣能力
      。
    其抽氣機理為：
       （1）活性氣體分子碰撞在新鮮的鈦膜上
    ，由于化學吸附形成穩(wěn)定的化合物
    。隨后又被不斷蒸發(fā)與濺射而形成的新鈦膜所覆蓋
      ，新鮮鈦膜又繼續(xù)吸附氣體分子
      ，形成穩(wěn)定的抽氣能力
      。
       （2）非活性氣體分子（如氬、氦等惰性氣體）被電離后
      ，在電場力的作用下
      ，打在鈦膜上，隨之又被蒸發(fā)的新鈦膜“掩埋”掉
      。
       （3）活性氣體分子離子化后激發(fā)為亞穩(wěn)態(tài)
      ，（或解離為單個離子）增加化學活性，使泵的抽速增加
      。